Учебно-научная лаборатория CVD/CVI технологий получения материалов из газовой фазы

Учебно-научная лаборатория CVD/CVI технологий получения материалов из газовой фазы

Основными видами деятельности лаборатории являются:

- приведение отработки режимов и выбор методов создания композиционных материалов (LSI, RMI, CVI, CVD и тд.) в зависимости от их функционального назначения, и разработка технологических процессов получения продукции;

- исследование новых методов химического синтеза тугоплавких соединений из жидкой и газовой фазы;

- развитие технологий химического осаждения HfC, TаC, ZrC, SiC, BN из газовой фазы галогенсодержащих соединений;

- разработка оптимальных схем садок и компоновки подводящих/отводящих магистралей для CVI процессов химического осаждения из газовой фазы.

Лабораторией освоено производство высокочистого пиролитического нитрида Бора (CVD), а также пиролитического карбида кремния (CVD, CVI).

Возврат к списку