Установка газофазного осаждения BN 2.0

Назначение: Получение высокочистого пиролитического нитрида бора из газовой фазы.

Основные технические характеристики:

- Гексагональная кристаллическая решетка;

- Плотность получаемого материала 1,97-1,99 г/см3;

- Доля примесей в получаемом материале не более 0,01 % ат;

- Диаметр реактора 110 мм;

- Максимальная температура установки 2000 оС;

Установка предназначена для газофазного осаждения высокочистого гексагонального нитрида бора на графитовую подложку. В зависимости от скорости подачи газов и времени процесса, существует возможность варьировать толщину получаемого материала. Данная установка уникальная, разработана и изготовлена специалистами инжинирингового центра.