Установка газофазного осаждения VVHT 0305

Назначение: Получение карбида кремния из газовой фазы.

Основные технические характеристики:

- Диметр рабочей области камеры 300 мм, высота 500 мм;

- Максимальная температура в рабочей камере 1500 ^оС;

- Минимальное давление в камере при вакуумировании 20 Па;

Установка предназначена для химического осаждения и инфильтрации, предназначена для карбида кремния (SiC) из газовой смеси метилтрихлорсиллана, водорода и аргона.⁠